9月19日，山西爍科晶體有限公司（簡(jiǎn)稱“爍科晶體”）被國(guó)家工信部認(rèn)定為國(guó)家級(jí)專精特新“小巨人”企業(yè)。
爍科晶體是國(guó)內(nèi)從事第三代半導(dǎo)體材料碳化硅生產(chǎn)和研發(fā)的領(lǐng)軍企業(yè)，通過(guò)自主創(chuàng)新和自主研發(fā)全面掌握了碳化硅生長(zhǎng)裝備制造、高純碳化硅粉料制備工藝，N型碳化硅單晶襯底和高純半絕緣碳化硅單晶襯底的制備工藝，形成了碳化硅粉料制備、單晶生長(zhǎng)、晶片加工等整套生產(chǎn)線。同時(shí)，在國(guó)內(nèi)率先完成4、6、8英寸高純半絕緣碳化硅單晶襯底技術(shù)攻關(guān)，一舉突破國(guó)外對(duì)我國(guó)碳化硅晶體生長(zhǎng)技術(shù)的長(zhǎng)期封鎖。
實(shí)現(xiàn)了自主可控
走進(jìn)爍科晶體一層展廳，展柜里一個(gè)個(gè)立著的猶如有機(jī)玻璃一樣的圓形“工藝品”吸引了記者的眼球。工作人員介紹，這是碳化硅晶片，厚度0.5毫米，約為5張A4紙的厚度，直徑4英寸或6英寸，和一張CD光盤差不多。因?yàn)樘?，只能夾在兩層透明的“玻璃”里觀賞。而就是這樣一個(gè)薄片，市場(chǎng)售價(jià)卻高達(dá)2000美元左右，還經(jīng)常是“一片難求”。
作為目前全球最先進(jìn)的第三代半導(dǎo)體材料，碳化硅晶片具有其他材料不具備的諸多優(yōu)點(diǎn)，是制造高溫、高頻、大功率半導(dǎo)體器件的理想襯底。除電動(dòng)汽車、5G通信外，在國(guó)防、航空航天等領(lǐng)域，也有著廣闊的應(yīng)用前景。它的研究和應(yīng)用極具戰(zhàn)略意義，有著不可替代的優(yōu)勢(shì)，被視作國(guó)家新一代信息技術(shù)核心競(jìng)爭(zhēng)力的重要支撐。“全球可以制備高純度半絕緣碳化硅晶片的廠家一共有4家，爍科晶體就是其中之一，公司不但掌握了材料的制備技術(shù)，從設(shè)備到原材料也實(shí)現(xiàn)了自主可控。”爍科晶體總經(jīng)理李斌介紹，“目前，公司正在積極布局第四代的半導(dǎo)體材料?！?/p>
10多年艱苦探索
碳化硅單晶的制備一直是全球性技術(shù)難題，而高穩(wěn)定性的晶體生長(zhǎng)工藝則是其中最核心的技術(shù)。如今，爍科晶體已建立起完整的碳化硅晶片生產(chǎn)線，突破晶體生長(zhǎng)、切割拋光等關(guān)鍵技術(shù)，粉料純度達(dá)到99.9995%，達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，實(shí)現(xiàn)高純度碳化硅單晶的商業(yè)化量產(chǎn)，打破了國(guó)外技術(shù)封鎖，擺脫長(zhǎng)期依賴進(jìn)口。
據(jù)介紹，爍科晶體碳化硅研發(fā)團(tuán)隊(duì)從研制碳化硅單晶生長(zhǎng)爐起步，到攻克生產(chǎn)碳化硅晶片的兩大關(guān)鍵技術(shù)——晶體生長(zhǎng)和晶片加工，歷經(jīng)10多年的艱苦探索，成功實(shí)現(xiàn)了從0到1的跨越。
近兩年來(lái)，在完全掌握4英寸、6英寸高純半絕緣碳化硅單晶襯底切、磨、拋工藝的基礎(chǔ)上，爍科晶體成功研制出8英寸碳化硅晶體。
目前，爍科晶體具備領(lǐng)先的自主研發(fā)能力和技術(shù)創(chuàng)新能力，技術(shù)團(tuán)隊(duì)擁有博士7名、碩士50名，構(gòu)建起產(chǎn)學(xué)研深度融合的現(xiàn)代化研發(fā)體系，承擔(dān)著多項(xiàng)國(guó)家級(jí)和省部級(jí)重大項(xiàng)目。
市場(chǎng)占有率超50%
據(jù)介紹，爍科晶體是目前國(guó)內(nèi)率先實(shí)現(xiàn)碳化硅材料產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈自主可控的碳化硅材料供應(yīng)商，也是國(guó)內(nèi)首家通過(guò)IATF16949汽車質(zhì)量體系認(rèn)證的碳化硅企業(yè)。
目前，爍科晶體擁有600臺(tái)單晶生長(zhǎng)設(shè)備，已實(shí)現(xiàn)4英寸高純半絕緣晶片的產(chǎn)業(yè)化，月產(chǎn)能可達(dá)8000片，具有強(qiáng)大的自主供應(yīng)能力。6英寸產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)小批量供應(yīng)，8英寸N型碳化硅拋光片實(shí)現(xiàn)小批量生產(chǎn)。產(chǎn)品綜合實(shí)力國(guó)內(nèi)領(lǐng)先，國(guó)際先進(jìn)。部分產(chǎn)品國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率超過(guò)50%，擁有臺(tái)積電、中芯國(guó)際、Magnachip等國(guó)內(nèi)外一流客戶群。
爍科晶體總經(jīng)理助理馬康夫透露：“下一步，我們將通過(guò)技術(shù)研發(fā)，提升碳化硅襯底的良品率、一致性、穩(wěn)定性，對(duì)標(biāo)國(guó)際領(lǐng)先水平，推動(dòng)碳化硅襯底的國(guó)產(chǎn)化替代，在產(chǎn)品橫向拓展方面做一些布局，涉足氮化鋁、氧化鎵、金剛石等材料，實(shí)現(xiàn)寬禁帶半導(dǎo)體材料多元化發(fā)展?！?/p>
持續(xù)激發(fā)創(chuàng)新活力
談到近年來(lái)在碳化硅材料領(lǐng)域取得的矚目成就，李斌介紹，公司自成立以來(lái)，一是以產(chǎn)業(yè)平臺(tái)為依托，強(qiáng)化平臺(tái)對(duì)主責(zé)主業(yè)的支撐效應(yīng)。具體來(lái)說(shuō)，就是聚焦第三代半導(dǎo)體碳化硅材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展，結(jié)合技術(shù)水平和市場(chǎng)趨勢(shì)，科學(xué)確定主導(dǎo)產(chǎn)品、優(yōu)勢(shì)產(chǎn)品和研發(fā)方向；以產(chǎn)業(yè)園區(qū)和研究機(jī)構(gòu)為依托，深入開(kāi)展技術(shù)研發(fā)交流，積極探索政企合作新模式，持續(xù)釋放政策及改革紅利；發(fā)揮龍頭效應(yīng)，聯(lián)合上下游、產(chǎn)學(xué)研力量構(gòu)建創(chuàng)新聯(lián)合體，做好產(chǎn)業(yè)鏈的“補(bǔ)鏈、強(qiáng)鏈、延鏈”，形成產(chǎn)融結(jié)合、上下游貫通、產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同的產(chǎn)業(yè)生態(tài)，凝聚起轉(zhuǎn)型發(fā)展的強(qiáng)大合力。
二是以技術(shù)創(chuàng)新為導(dǎo)向，增強(qiáng)創(chuàng)新對(duì)產(chǎn)業(yè)升級(jí)的驅(qū)動(dòng)作用。始終堅(jiān)持以技術(shù)創(chuàng)新為突破口，以構(gòu)建創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)業(yè)態(tài)為主線，以建設(shè)創(chuàng)新型人才隊(duì)伍為基礎(chǔ)，為培育高質(zhì)量發(fā)展新動(dòng)能提供重要支撐。堅(jiān)持自主創(chuàng)新，加大關(guān)鍵核心技術(shù)攻堅(jiān)力度，領(lǐng)軍行業(yè)新一輪轉(zhuǎn)型升級(jí)；積極組建、參加各類學(xué)術(shù)交流研討，在企業(yè)內(nèi)、行業(yè)內(nèi)營(yíng)造創(chuàng)新氛圍，激發(fā)創(chuàng)新熱情；健全以創(chuàng)新能力為導(dǎo)向的科技人才評(píng)價(jià)體系和引才路徑，設(shè)計(jì)良好的多維評(píng)價(jià)機(jī)制和激勵(lì)制度，持續(xù)完善創(chuàng)新體系，激發(fā)創(chuàng)新活力。（張翔宇）
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